НИИграфит создаст российский аналог оборудования для микроэлектроники

Разработкой оборудования займется институт «НИИграфит», входящий в контур «Росатома». Установка предназначена для ленточного литья — технологии, формирующей основу для многослойных керамических подложек. Согласно техническому заданию, система должна быть полностью локализована: от узлов нанесения покрытия и резки до инструментов контроля толщины ленты. Проектировщики также обязаны предусмотреть автоматизированное управление с защитой от сбоев и памятью для хранения технологических рецептов.

К системе предъявлены жесткие требования по надежности: срок службы оборудования должен составлять не менее 10 лет при наработке на отказ от 1000 часов. «НИИграфит» стал единственным участником тендера, снизив начальную стоимость контракта примерно на 9,5%. Конечный результат должен быть готов к 31 октября 2028 года, что обеспечит независимость отечественного производства керамических компонентов от импортных поставок.