Минпромторг профинансирует создание отечественных материалов для литографии

Почти 2 миллиарда рублей направят на разработку химических компонентов для производства микроэлектроники. Ведомство ищет исполнителей для создания аналогов зарубежных материалов, которые раньше поставляли компании из Германии, Японии и США. Проекты должны завершиться до конца 2029 года, чтобы закрыть критическую зависимость отрасли от импорта.

Первый контракт стоимостью 1,017 млрд рублей предполагает разработку 12 видов электронно-лучевых резистов. Эти составы заменят продукцию Allresist, Microresist, ZEON и MicroChem. Второй лот с бюджетом 889,5 млн рублей нацелен на создание семи типов материалов для взрывной литографии, которые станут альтернативой американским сериям LOR и PMGI.

На текущий момент российская промышленность не имеет собственного производства таких компонентов. Зависимость от иностранных поставок ограничивает возможности создания сверхточных структур и формирования металлических слоев в СВЧ-электронике. Новые тендеры продолжают курс на импортозамещение в полупроводниковой сфере, дополняя ранее запущенные программы по разработке фоторезистов и специальных газов для интегральных схем.