Китай запустил серийное производство литографов AST6200

Машина AST6200 сфокусирована на выпуске компонентов из карбида кремния, нитрида галлия, арсенида галлия и фосфида индия. Эти материалы критически важны для систем оптоэлектроники, сетей 5G и силовой электроники электромобилей. Установка поддерживает пластины диаметром от 2 до 8 дюймов и совместима с подложками из кремния, сапфира и других сложных соединений.

Инженеры реализовали полный цикл разработки системы: от высокоточной оптики и механизмов совмещения слоев до собственного программного обеспечения, управляющего техпроцессами. После успешных заводских испытаний в ноябре 2025 года и финальной валидации у заказчика, оборудование готово к масштабному развертыванию на производственных линиях.